薄膜材料制备原理、技术及应用

书名:薄膜材料制备原理、技术及应用作者:唐伟忠著出版社:冶金工业出版社出版时间:1998.5简介:本书讨论了薄膜材料制备技术中常用的真空技术、各种物理化学气相沉积技术、薄膜材料的微观结构的形成以及薄膜材料的厚度、微观结构和成分的表征方法。 目录:1 薄膜制备的真空技术基础1.1 气体分子运动论的基本概念1.2 气体的流动状态和真空抽速1.3 真空泵简介1.4 真空的测量参考文献2 薄膜的物理气相沉积（Ⅰ）——蒸发法2.1 物质的热蒸发2.2 薄膜沉积的厚度均匀性和纯度2.3 真空蒸发装置参考文献3 薄膜的物理气相沉积（Ⅱ）——溅射法及其他PVD方法3.1 气体放电现象与等离子体......
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